該儀器設(shè)計原理是利用了軟X射線的透射吸收特性，通過傳感器測量透過介質(zhì)的射線衰

減度，按一定算法轉(zhuǎn)換為薄膜和板材的厚度數(shù)值，測量精度與用戶提供的樣片有關(guān)系，最高平均值精

度可精確到0.1UM，是一種薄膜在線厚度檢測儀器的高科技產(chǎn)品。

  為確保儀器的精度，必須保證有三大要素

  1.儀器機械結(jié)構(gòu)的加工精度

 2.信號的采集處理精度

3. 優(yōu)秀的軟件算法和準確的采樣