(1) 詳細了解故障情況。例如，當數控機床發生顫振、振動或超調現象時，要弄清楚是發生在全部軸還是某一軸，如果是某一軸，是全程還是某一位置；是一運動就發生還是僅在快速、進給狀態某速度、加速或減速的某個狀態下發生。為了進一步了解故障情況，要對數控機床進行初步檢查，并著重檢查熒光屏上的顯示內容、控制柜中的故障指示燈、狀態指示燈或作報警用的數碼管。當故障情況允許時，最好開機試驗，詳細觀察故障情況。
(2) 根據故障情況進行分析，縮小范圍，確定故障源查找的方向和手段。對故障現象進行全面了解后，下一步可根據故障現象分析故障可能存在的位置，即哪一部分出現故障可能導致如此現象。有些故障與其他部分聯系較少，容易確定查找的方向，而有些故障原因很多，難以用簡單的方法確定出故障源查找方向，這就要仔細查閱有關的數控機床資料，弄清與故障有關的各種因素，確定若干個查找方向，并逐一進行查找。
(3) 由表及里進行故障源查找。故障查找一般是從易到難，從外圍到內部逐步進行。所謂難易，包括技術上的復雜程度和拆卸裝配方面的難易程度。技術上的復雜程度是指判斷其是否有故障存在的難易程度。在故障診斷的過程中，首先應該檢查可直接接近或經過簡單的拆卸即可進行檢查的那些部位，然后檢查須要進行大量的拆卸工作之后才能接近和進行檢查的那些部位。
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