穩定的加工是這樣的：鉬絲與工件相近運動，直到間隙被電離擊穿，火花放電會在極效應和熱熔效應的作用下形成蝕除，冷卻液的爆炸和清洗作用，使蝕除物被迅速排出帶走，新的或介電系數較高的冷卻液使間隙實現消電離恢復絕緣，間隙被擴大，鉬絲與工件再作相近運動。

干擾如上過程的任何因素都會造成加工不穩定。歸納如下：

·被切工件厚，蝕除物排出路程過長，水進入困難。
·材料雜質，致使取樣和間隙跟蹤失靈失準。
·水的爆炸，清洗，消電離能力差，有效成分少。
·運絲速度和軌跡不穩定，間隙鑒別紊亂。
·材料應力變形，局部彈性大，切縫的細微形變吃掉了放電間隙。
·變頻跟蹤松緊不適，超出取樣電壓與變頻速度的線性區較遠。
·坐標運動的阻滯，推力的積累（爬行），使放電間隙產生不確定性，跟蹤失實失準。

進電阻抗大或接觸不良，取樣不穩或距放電點較遠。至使間隙辨別有誤。