羅茨泵的工作原理與羅茨鼓風(fēng)機(jī)相似。羅茨真空泵的泵腔內(nèi)有二個(gè)“8”字形的轉(zhuǎn)子相互垂直地安裝在一對(duì)平行軸上，由傳動(dòng)比為1的一對(duì)齒輪帶動(dòng)作彼此反向的同步旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)。在轉(zhuǎn)子之間轉(zhuǎn)子與泵殼內(nèi)壁之間，保持有大概的間隙可以實(shí)現(xiàn)高轉(zhuǎn)速運(yùn)行，由于羅茨泵是一種無內(nèi)壓縮的真空泵通常壓縮比很低故高、中真空泵需要前級(jí)泵，羅茨泵的真空除取決于泵本身結(jié)構(gòu)和制造精度外還取決于前級(jí)泵的真空為了提高泵的真空度可將羅茨泵串聯(lián)使用。

它的工作原理是由于轉(zhuǎn)子的不斷旋轉(zhuǎn)，被抽氣體從吸氣口吸入到轉(zhuǎn)子與泵殼之間的空間v0內(nèi)再經(jīng)排氣口排出由于吸氣后v0空間是全封閉狀態(tài)。

所以在羅茨真空泵的泵腔內(nèi)氣體沒有壓縮和膨脹但當(dāng)轉(zhuǎn)子頂部轉(zhuǎn)過排氣口邊緣，v0空間與排氣側(cè)相通時(shí)由于排氣側(cè)氣體壓強(qiáng)較高則有一部分氣體返沖到空間v0中去使氣體壓強(qiáng)突然增高當(dāng)轉(zhuǎn)子繼續(xù)轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)氣體排出泵外。

由于羅茨泵是一種無內(nèi)壓縮的真空泵，這種泵體，通常壓縮 比 很低，故中、高真空羅茨泵需要前級(jí)泵。因此，羅茨泵的真空除取決于泵本身結(jié)構(gòu)和制造精度外，還取決于前級(jí)泵的真空度。