上海伯東某客戶從事樹脂鏡片的研發(fā), 生產(chǎn)和銷售, 經(jīng)過伯東推薦, 采用德國 Pfeiffer 氦質(zhì)譜檢漏儀 ASM 340 對其生產(chǎn)設(shè)備 - 精密光學(xué)鍍膜機(jī)進(jìn)行檢漏. 真空模式下, 漏率要求達(dá)到 1X10-7 mbar l/s, 保證光學(xué)鍍膜機(jī)在生產(chǎn)過程中的密封性.
光學(xué)鍍膜機(jī)檢漏方法: 采用氦質(zhì)譜檢漏儀真空模式, 漏率設(shè)置為 1X10-7 mbar l/s, 主要對真空室和連接管路進(jìn)行檢漏, 通常真空室內(nèi)漏氣都是從室壁上的一些接口或部件之間的焊縫中發(fā)生, 當(dāng)抽氣系統(tǒng)抽氣后使真空室內(nèi)壓強(qiáng)降低, 外部與內(nèi)部的壓強(qiáng)差使氣體從壓強(qiáng)高的外部流向壓強(qiáng)低的真空室內(nèi), 形成真空度降低. 真空度的降低則會降低光學(xué)鏡片的合格率.
檢漏儀通過波紋管, 與鍍膜機(jī)背部預(yù)留的接口連接, 啟動檢漏儀, 設(shè)置好漏率, 在懷疑有漏的地方噴氦氣
 

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