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Aerotech  ABG10000氣浮平臺
1氣浮導(dǎo)軌實現(xiàn)超平滑運動
2所有軸都預(yù)加載荷
3下面軸采用雙無刷直線伺服電機驅(qū)動
3行程達1mx1m
4非接觸直線編碼器(光柵)
5可選Z軸,隔振,機械底座和控制箱
6適用于高速拾取/放置,自動化裝配,視覺檢測,點膠機,高精度檢測．
行程≤1000mm
精度?2um
重復(fù)定位精度?0.5um
直線度?1um
平面度?1um
Aerotech高精密定位平臺的詳細描述：
    自1970年Aerotech開始研制最高性能的運動控制產(chǎn)品和精密定位系統(tǒng)，這些產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于世界范圍內(nèi)的工業(yè)制造、政府及自然科學(xué)研究等行業(yè)。Aerotech能夠為生命科學(xué)及醫(yī)學(xué)設(shè)備，半導(dǎo)體加工，光子學(xué)，數(shù)據(jù)存儲，激光應(yīng)用，航空和國防，電子產(chǎn)品制造、測試及裝配等行業(yè)的研究和發(fā)展，以及其他需要高精度、高自動化水平的解決方案提供滿足市場應(yīng)用苛刻要求的高性能精密運動控制產(chǎn)品。


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Aerotech承諾始終如一的提高我們的產(chǎn)品性能和服務(wù)能力的附加價值，我們的座右銘是：Dedicated to the Scienceof Motion。


ABL1000氣浮平臺
1專為高性能校準和裝配應(yīng)用設(shè)計
2分辨率達2nm的直線編碼器反饋
3閉環(huán)分辨率可達1nm(使用A3200控制器)
4全預(yù)加負載氣浮導(dǎo)軌(空氣軸承)
5低噪音線性放大器
6全部非接觸設(shè)計
行程≤150mm
精度?0.20um
重復(fù)定位精度?0.05um
直線度?0.25um
平面度?0.25um

ABL1500直線電機平臺
1專為高性能掃描和檢測應(yīng)用設(shè)計
2分辨率達到nm以下的直線編碼器反饋
3全預(yù)加負載氣浮導(dǎo)軌(空氣軸承)
4大負載高剛性幾何特性極好
行程≤500mm
精度?0.20um
重復(fù)定位精度?0.10um
直線度?0.25um
平面度?0.25um

ABL2000氣浮平臺
1專為晶片成像/缺陷探測/涂覆應(yīng)用設(shè)計
2運動超平滑,速度穩(wěn)定性突出
3直線編碼器或激光干涉儀反饋
4行程達1.2米
5全預(yù)加負載氣浮導(dǎo)軌(空氣軸承)
6全部非接觸設(shè)計
行程≤1200mm
精度?0.50um
重復(fù)定位精度?0.20um
直線度?0.25um
平面度?0.25um

ABL3600氣浮平臺
1專為掃描顯微鏡/掩模/晶片檢測獨特應(yīng)用設(shè)計
2雙軸,大孔,開放式結(jié)構(gòu)
3非接觸直線編碼器反饋,精度高
4雙直線電機驅(qū)動XY軸
5所有軸全預(yù)加負載氣浮導(dǎo)軌(空氣軸承)
行程≤250mm
精度?1um
重復(fù)定位精度?0.20um
直線度?0.50um
平面度?1um

ABL8000氣浮平臺
1專為有效負載大,負載重心偏離機架中心線的應(yīng)用設(shè)計
2十字交叉結(jié)構(gòu),剛性穩(wěn)定性引人注目,幾何特性極好
3所有軸全預(yù)加負載氣浮導(dǎo)軌(空氣軸承)
4行程達1米
5直線編碼器或激光干涉儀反饋
6可集成包括花崗巖的XY子系統(tǒng)
行程≤1000mm
精度?0.50um
重復(fù)定位精度?0.20um
直線度?0.40um
平面度?0.40um

ABL9000氣浮平臺
1世上最高性能的氣浮平臺,適用于晶片,平板顯示,光學(xué)檢測和加工等要求苛刻的場合
2所有軸全預(yù)加負載氣浮導(dǎo)軌(空氣軸承)
3行程達1.2米X1.2米
4Y軸雙直線電機驅(qū)動
5直線編碼器或激光干涉儀反饋
6主動控制偏轉(zhuǎn)
行程≤1200mm
精度?0.50um
重復(fù)定位精度?0.10um
直線度?0.50um
平面度?0.50um

AHL9000直線電機平臺
1專為晶片檢測，平板顯示加工和光學(xué)檢測及制造應(yīng)用設(shè)計
2掃描軸是空氣軸承，步進軸是機械軸承
3行程達1.2米X1.2米
4雙直線電機驅(qū)動步進軸
5直線編碼器或激光干涉儀反饋
行程≤350mm
精度?1.0um
重復(fù)定位精度?0.20um
直線度?0.60um
平面度?0.60um

ABG10000氣浮平臺
1氣浮導(dǎo)軌實現(xiàn)超平滑運動
2所有軸都預(yù)加載荷
3下面軸采用雙無刷直線伺服電機驅(qū)動
3行程達1mx1m
4非接觸直線編碼器(光柵)
5可選Z軸,隔振,機械底座和控制箱
6適用于高速拾取/放置,自動化裝配,視覺檢測,點膠機,高精度檢測．
行程≤1000mm
精度?2um
重復(fù)定位精度?0.5um
直線度?1um
平面度?1um

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ANT95-L系列納米平移臺1.實現(xiàn)大行程納米定位
2.高分辨率（1納米），重復(fù)定位精度（75納米），定位精度（250納米）
3.1納米的位置穩(wěn)定性
4.抗爬行十字交叉滾珠軸承
5.高動態(tài)特性
 

ALS25000 直線電機平臺
1.防護金屬導(dǎo)軌罩和側(cè)面封閉可以適應(yīng)惡劣的環(huán)境
2.完整的電纜管理系統(tǒng)
3.高性能直驅(qū)直線電機實現(xiàn)優(yōu)良的伺服性能
4.緊湊結(jié)構(gòu)以適應(yīng)有限空間的應(yīng)用需求
行程600mm
精度?1.0um

ANT95-XY系列雙軸納米平移臺1.結(jié)構(gòu)緊湊25mm*25mm或50mm*50mm行程
2.實現(xiàn)大行程納米定位
3.高分辨率（1納米），重復(fù)定位精度（75納米），定位精度（250納米）
4.1納米的位置穩(wěn)定性
5.抗爬行十字交叉滾珠軸承
6.高動態(tài)特性

ANT130-L-Z系列納米垂直平移臺1.大行程實現(xiàn)納米定位
2.高分辨率（2納米），重復(fù)定位精度（75納米），定位精度（300納米）
3.2納米的位置穩(wěn)定性
4.抗爬行十字交叉滾珠軸承
5.高動態(tài)特性

ALS1000 直線電機平臺
1.直驅(qū)直線馬達實現(xiàn)超精密運動
2.長壽命直線運動導(dǎo)軌系統(tǒng)
3.2軸內(nèi)部電纜管理系統(tǒng)
4.可選氣體凈化的密封設(shè)計
5.低成本，占地面小，高性能
行程450mm
精度?1.0um
負載50.0kg

ALS5000 直線電機平臺
1.適合惡劣環(huán)境
2.堅.臺面和導(dǎo)軌罩
3.完全整合電纜管理系統(tǒng)
4.高精度，非接觸式直線編碼器（光柵尺）
5.可選氣體凈化的密封設(shè)計
行程1000mm
精度?1.0um
負載135.0kg

ALS5000WB 直線電機平臺
1.寬底座可以承受較大的偏移負載
2.強大的雙直線電機驅(qū)動
3.堅硬涂層臺面和導(dǎo)軌罩
4.完全整合電纜管理系統(tǒng)
5.可選氣體凈化的密封設(shè)計
行程1000mm
精度?1.0um
負載135.0kg

Aerotech精密轉(zhuǎn)臺的詳細描述：
    自1970年Aerotech開始研制最高性能的運動控制產(chǎn)品和精密定位系統(tǒng)，這些產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于世界范圍內(nèi)的工業(yè)制造、政府及自然科學(xué)研究等行業(yè)。Aerotech能夠為生命科學(xué)及醫(yī)學(xué)設(shè)備，半導(dǎo)體加工，光子學(xué)，數(shù)據(jù)存儲，激光應(yīng)用，電子產(chǎn)品制造、測試及裝配等行業(yè)的研究和發(fā)展，以及其他需要高精度、高自動化水平的解決方案提供滿足市場應(yīng)用苛刻要求的高性能精密運動控制產(chǎn)品。 


Aerotech承諾始終如一的提高我們的產(chǎn)品性能和服務(wù)能力的附加價值，我們的座右銘是：Dedicated to theScienceof Motion。 
Aerotech高精密轉(zhuǎn)臺，aerotech高精密氣浮轉(zhuǎn)臺，aerotech高精密機械轉(zhuǎn)臺 
ABRS超精密轉(zhuǎn)臺 
ABRS氣浮軸承精密運動轉(zhuǎn)臺擁有一個低矮的外形輪廓，并且能夠提供出眾的角度定位精度，卓越的速度穩(wěn)定性以及極小的運動誤差。 
ABRS精密轉(zhuǎn)臺的設(shè)計應(yīng)用于硅片檢測，高精度測量，激光衍射系統(tǒng)，光學(xué)檢測和制造以及納米制造技術(shù)。 
特點: 
1. 無刷無槽力矩電機直接驅(qū)動 
2. 卓越的速度穩(wěn)定性（無齒槽效應(yīng)） 
3. 極佳的運動性能，誤差小，無抖動 
4. 直連式高精度圓光柵反饋 
5. 扁平結(jié)構(gòu)設(shè)計 
6. 氣浮軸承，無機械接觸 
臺面直徑：128~278mm 
反饋分辨率：0.036~0.18 arc sec 
雙向重復(fù)定位精度：<1arc sec 
定位精度： 2 arc sec 
異步軸跳： 20nm 
異步徑跳： 20nm 


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ABRT超精密轉(zhuǎn)臺 
1專為硅片檢測，X射線衍射系統(tǒng)，光學(xué)檢測及制造和納米技術(shù)設(shè)備制造應(yīng)用設(shè)計 
2無刷無槽伺服電機直接驅(qū)動 
3突出的速度穩(wěn)定性，波動率低于萬分之一（電機無接頭效應(yīng)） 
4卓越的運動性能,誤差小,無抖動 
5直聯(lián)高精度旋轉(zhuǎn)編碼器 
6扁平結(jié)構(gòu)設(shè)計 
7無機械接觸 
臺面直徑100-200mm 
分辨率0.027-0.055arcsec 
雙向重復(fù)定位精度<1arcsec 
定位精度 <2 arc sec 
異步軸跳 <20nm 
異步徑跳 <20nm 



AOM360D光電跟蹤轉(zhuǎn)臺 
AOM360D全方位定位裝置能夠提供最精確的方位角和仰角值。軍工級品質(zhì)的電機，軸承和傳感器組合而成的機架裝置保證了整體的最佳性能。AOM360D被應(yīng)用于使用傳感器和光學(xué)設(shè)備對方位角和仰角值進行自動檢測。其他應(yīng)用包括方位校準，激光束指引，目標捕獲及跟蹤，照相機和光電望遠鏡的掃描和定位。 
特點： 
1. 所有軸均可360度旋轉(zhuǎn) 
2. 超精確的定位精度和雙向重復(fù)定位精度 
3. 超低的軸向擺動及正交性 
4. 無刷無槽力矩電機直接驅(qū)動 
5. 高精度圓光柵反饋 
6. 無齒槽設(shè)計提供卓越的速度穩(wěn)定性 
7. 熱穩(wěn)定性好于0.4 arc sec/攝氏度 
8. 負載直徑可達500mm，負載質(zhì)量可達50kg 
9. 可以用于真空環(huán)境 
負載直徑193-485mm 
負載質(zhì)量  20~50kg 
分辨率0.055arcsec 
雙向重復(fù)定位精度1arcsec 
定位精度 2 arc sec 
方位角擺動  3 arc sec 
仰角擺動    5 arc sec 

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AMG 系列1包括內(nèi)置滑環(huán),方位角和仰角連續(xù)360度旋轉(zhuǎn) 
2高精度角度定位和角速度性能 
3直驅(qū)無刷伺服電機,零間隙 
4無嵌齒效應(yīng),突出的速度穩(wěn)定性 
5適應(yīng)的負載直徑達600毫米 
6低維護和高穩(wěn)定性,所有權(quán)成本最低 
分辨率.27μrad-0.13μrad 
孔徑范圍194mm-591mm 
負載20kg-70kg 


ADR系列直接驅(qū)動精密轉(zhuǎn)臺提供精確的角度定位和速度控制。
應(yīng)用范圍包括高速激光加工和硅片精密檢測。 
特點： 
1.無刷力矩電機直接驅(qū)動 
2.無齒槽設(shè)計提供卓越的速度穩(wěn)定性 
3.極佳的運動性能，誤差小，無抖動 
4.直連式高精度圓光柵反饋 
5.高精度機械軸承支撐 
6.最大載荷可達150kg 
臺面直徑：57~240mm 
反饋分辨率：0.036~13 arc sec 
雙向重復(fù)定位精度： 1arc sec 
定位精度： 2 arc sec 
軸跳： 0.5um 
徑跳： 1um 
 

ARMS直驅(qū)旋轉(zhuǎn)精密旋轉(zhuǎn)平臺 
1.設(shè)計來生成高精確運動 
2.在全部360?范圍都能達到0.0001%速度穩(wěn)定性 
3.定位分辨率0.02角秒 
4.有效負載230kg 
5.完整的導(dǎo)電環(huán)和不固定的旋轉(zhuǎn)管套節(jié) 
6.可選直驅(qū)無刷電機以實現(xiàn)高轉(zhuǎn)速和高扭矩輸出 
孔徑8mm-25mm 
分辨率0.02-2arcsec 
精度?2.5arcsec 




ALS20000 直線電機平臺
1.保護金屬導(dǎo)軌罩
2.完整的電纜管理系統(tǒng)
3.潔凈空間應(yīng)用的理想選擇
4.緊湊的結(jié)構(gòu)，高性能，直線電機平臺
5.成像和掃描應(yīng)用中具有優(yōu)良的速度控制性能,適合成像和掃描應(yīng)用
行程600mm
精度?1.0um
負載70.0kg
ABG10250-250  ABG10500-500  ABG10750-750  ABG11000-1000

ABG10250-250-10-NC-LT50AS

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