產(chǎn)品描述

上海伯東代理美國考夫曼博士設(shè)立的考夫曼公司 KRI 考夫曼離子源 KDC 系列. 離子束可選聚焦/ 平行/ 散射.

離子束流: >10 mA~650 mA; 離子動能: 100-1200 V; 中和器: 燈絲.

加熱燈絲產(chǎn)生電子, 增強(qiáng)設(shè)計輸出高質(zhì)量, 穩(wěn)定的電子流.

離子源采用模塊化設(shè)計, 方便清潔/ 保養(yǎng)/ 維修/ 安裝.

通入氣體可選 Ar, Kr, Xe, O2, N2, H2, others.

考夫曼離子源 KDC 系列包含多種不同尺寸的離子源滿足各類應(yīng)用. 可以直接整合在各類真空設(shè)備中, 例如實驗室小型研發(fā), 鍍膜機(jī), load lock, 濺射系統(tǒng), 卷繞鍍膜機(jī)和線性鍍膜.

美國 KRI 考夫曼離子源 Gridded KDC 系列 產(chǎn)品優(yōu)勢：

伯東美國 KRI 考夫曼離子源 KDC 特性：

1.通過加熱燈絲產(chǎn)生電子

2.低電流高能量寬束型離子源

美國 KRI 考夫曼離子源 Gridded KDC 系列 技術(shù)參數(shù)：

伯東美國 KRI 考夫曼離子源 KDC 技術(shù)參數(shù)：

離子源型號	離子源 KDC 10	離子源 KDC 40	離子源 KDC 75	離子源 KDC 100	離子源 KDC 160
Discharge	DC 熱離子	DC 熱離子	DC 熱離子	DC 熱離子	DC 熱離子
離子束流	>10 mA	>100 mA	>250 mA	>400 mA	>650 mA
離子動能	100-1200 V	100-1200 V	100-1200 V	100-1200 V	100-1200 V
柵極直徑	1 cm Φ	4 cm Φ	7.5 cm Φ	12 cm Φ	16 cm Φ
離子束	聚焦, 平行, 散射
流量	1-5 sccm	2-10 sccm	2-15 sccm	2-20 sccm	2-30 sccm
通氣	Ar, Kr, Xe, O2, N2, H2, 其他
典型壓力	< 0.5m Torr	< 0.5m Torr	< 0.5m Torr	< 0.5m Torr	< 0.5m Torr
長度	11.5 cm	17.1 cm	20.1 cm	23.5 cm	25.2 cm
直徑	4 cm	9 cm	14 cm	19.4 cm	23.2 cm
中和器	燈絲

美國 KRI 考夫曼離子源 Gridded KDC 系列 應(yīng)用領(lǐng)域：

KRI 考夫曼離子源 KDC 應(yīng)用：

1.輔助鍍膜(光學(xué)鍍膜) IBAD

2.濺鍍&蒸鍍 PC

3.表面改性, 激活 SM

4.沉積 DD

5.離子濺射沉積和多層結(jié)構(gòu) IBSD

6.離子蝕刻 IBE